MEMS高线性电容式压力传感器检测电路：设计、优化与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键部件，其重要性不言而喻。MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）高线性电容式压力传感器凭借其独特的优势，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。这种传感器基于微机电系统技术，将机械结构与电子电路集成在微小的芯片上，实现了压力信号到电信号的高精度转换。

在工业领域，MEMS高线性电容式压力传感器广泛应用于过程控制、自动化生产线、航空航天等方面。在石油化工生产中，精确测量管道内的压力对于确保生产安全和产品质量至关重要。该传感器