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文档摘要

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光伏PECVD工序生产与质量标准知识测试试卷

一单选题（每题2分）

1.PECVD即（）[单选题]*

A.金属有机化学气相沉积

B.原子层沉积

C.低压力化学气相沉积

D.等离子增强化学气相沉积(正确答案)

2.PECVD原理，是借助微波或射频等使含有薄膜组成的气体电离，在局部形成（）[单选题]*

A.电子

B.离子

C.等离子体(正确答案)

D.电荷

3.以下选项不是PECVD危险因素的是（）[单选题]*

A.火灾

B.强酸(正确答案)

C.高温

D.毒气

4.当车间发生二级毒气泄漏报警，以下哪项是生产人员需要做的（）[单选题]*

A.寻找毒气泄漏点

B.设备下电

C.