高线密度X射线自支撑闪耀透射光栅制作技术的深度剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

X射线自支撑闪耀透射光栅作为一种关键的X射线光学元件，凭借其宽带高效高分辨的显著优势，在众多前沿科学领域展现出不可或缺的应用价值。在惯性约束聚变（ICF）研究中，其重要性尤为突出。ICF是实现可控核聚变的重要途径，通过高能脉冲激光对含氘和氚的微型燃料靶丸进行瞬间加热与高度压缩，引发核聚变反应。在此过程中，X射线自支撑闪耀透射光栅不仅是获取高能量短脉冲激光的核心元件，用于将激光脉冲压缩至皮秒脉宽以实现“快点火”；同时，也是诊断聚变反应过程的关键工具，基于透射衍射光栅的软X射线透射光栅谱