;;;;;（三）未来十年MEMS技术发展对测量方法的需求预判;;;（二）关键参数校准的流程与技术规范;（三）精度提升的关键技术突破方向;;标准明确覆盖的MEMS微结构类型及测量要点;对于镂空、多层叠加的复杂结构，需调整干涉光路角度与聚焦深度，避免遮挡影响测量。标准提供了光路优化方案，通过多角度测量拼接实现复杂结构的完整尺寸表征。;;;;;;;量值传递体系的构成与技术路径;;;;;;建议未来标准修订时，增加纳米级测量技术规范、微型探头使用要求，纳