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文档摘要

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毕英慧;主要内容;1.1真空镀膜技术;1.2真空镀膜特点;1.3真空镀膜技术分类;表1真空表面处理技术的分类;表2各种干式镀膜技术的比较;1.4真空镀膜的应用;表3薄膜的应用;2真空蒸发镀膜;将膜材置于真空室内的蒸发源中，在高真空条

件下，通过蒸发源加热使其蒸发，膜材蒸气的原子

或分子从蒸发源表面逸出。由于高真空气氛，真空

室中气体分子的平均自由程大于真空室的线性尺

寸，故此蒸汽分子很少与其它分子相碰撞，以直线

方式达到基片表面，通过物理吸附和化学吸附凝结

在基片表面，形成薄膜。这就是真空蒸发镀膜的基

本原理。;图2-1真空蒸发镀膜