基本信息

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文档摘要

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第9章气相沉积技术;9.1薄膜的特征与分类;特征：;薄膜的种类;薄膜的应用;薄膜的制备方法;;一、引言

二、真空技术入门

三、真空蒸发镀膜的原理

四、薄膜的形成

五、合金与化合物的蒸镀

六、分子束外延

七、蒸镀用途;真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是外表工程技术领域的重要组成局部。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体外表涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体外表具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，到达提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具开展