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文档摘要

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氟硅共掺杂类金刚石碳基涂层：精准制备与性能多维解析

一、引言

1.1研究背景与意义

类金刚石碳基涂层（DLC）是一种由碳元素构成的非晶态薄膜，因具备高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、耐磨损和良好的真空摩擦特性，被广泛应用于多个领域。在汽车领域，可涂覆于发动机活塞、气门等零部件表面，有效降低摩擦损耗，提高发动机效率，减少能源消耗，助力汽车行业实现节能减排目标；在电子设备制造中，用于硬盘读写头、半导体芯片等关键部件，增强其耐磨性和抗腐蚀性，提升电子设备的稳定性和使用寿命，满足电子行业对小型化、高性能产品的需求；在机械加工领域，刀具表面涂覆DLC涂层后，切削性能显著提升，刀具寿命延长，加工精度