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自动镀覆机械人结构仿真研究的国内外文献综述

1.1国内外金属微孔滤膜研究现状

目前，人们在检测油液固体颗粒污染度时，主要使用由美国DIAGNETICS

公司生产的金属微孔滤膜传感器，其共有三种规格，分别对应三种微孔尺寸，即5μm×5μm、10μm×10μm和15μm×15μm。目前尚未找到对该传感器的研制情况进行详细介绍的国外资料。国内有关专家根据电镜分析结果认为该传感器是用LIGA技术(制版术Lithographic电铸成形Galvanoformung和注塑Abformung)制造出来的。尽管有许多的优点，但不可忽视的是，这项技术的工艺步骤