基本信息

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文档摘要

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激光干涉仪内校作业指导书

1.目的

制定本文件是规范校准方法，确保用于测量或试验仪器维持其稳定性并符合使用要求，确保产品质量。

2.范围

本规程适用于本公司激光干涉仪的校准。

3.校正环境条件

温度：(20±5)℃；相对湿度：(40~70）%RH；

4.作业内容：

4.1校正所需设备或标准：标准片。

4.2校正项目：

4.2.1平坦度干涉条纹（1.83/2.17/4.69/6.92）条；

4.3校正前应准备事项：

4.3.1阅读待校件相关文件，如：使用手册、说明书…等。

4.3.2校正用设备及待校件需先恒温30min以上。

4.3.3确认校正环境在合格的状态下。

4.4校正方法