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2025年晶圆制造设备国产化突破与产业升级前景参考模板

一、2025年晶圆制造设备国产化突破与产业升级前景

1.1国产化进程

1.1.1技术创新

1.1.2产业链协同

1.2产业升级前景

1.2.1市场需求

1.2.2政策支持

1.2.3技术进步

1.3挑战与应对

1.3.1技术差距

1.3.2产业链不完善

1.3.3市场竞争激烈

二、晶圆制造设备国产化突破的关键技术

2.1光刻技术

2.1.1极紫外光（EUV）光刻技术

2.1.2光刻胶技术

2.2刻蚀技术

2.2.1干法刻蚀技术

2.2.2湿法刻蚀技术

2.3薄膜沉积技术

2.3.1化学气相沉积（CVD