平面Nbnano-SQUIDs：制备工艺与磁通调制特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

超导量子干涉器件（SuperconductingQuantumInterferenceDevice，SQUID）自20世纪60年代被发现以来，凭借其对微弱磁场极高的探测灵敏度，在众多领域展现出巨大的应用潜力，成为超导电子学领域的关键研究对象。SQUID的工作原理基于约瑟夫森效应和量子干涉现象，利用超导材料在低温下电阻为零以及磁通量子化的特性，能够检测到极其微弱的磁场变化，其灵敏度可达10?12特斯拉量级，这使其在生物医学、地质勘探、物理学研究等领域发挥着不可或缺的作用