表面等离子体波：解锁亚微米光刻与集成光学器件的创新密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，表面等离子体波（SurfacePlasmonPolaritons，SPP）作为一种独特的电磁现象，正逐渐成为研究的焦点。SPP是一种沿着金属与介质界面传播的电磁波，由金属表面自由电子与光子相互作用产生。其具有诸多优异特性，如能够突破传统光学的衍射极限，实现亚波长尺度的光场局域和传输，这为解决现代光学发展中的诸多瓶颈问题提供了新的途径。

在亚微米光刻技术中，随着半导体器件尺寸不断向纳米尺度缩小，对光刻分辨率的要求日益严苛。传统光刻技术受限于光的衍射极限，难以满足下一代集成电路制造对更高