基本信息
文件名称:TACCEM-半导体湿法清洗机.pdf
文件大小:477.44 KB
总页数:12 页
更新时间:2025-12-05
总字数:约7.07千字
文档摘要

ICS21.020

CCSJ04

/ACCEM

团体标准

T/ACCEMXXXX—2025

半导体湿法清洗机

Semiconductorwetcleaningmachine