基本信息

---

下载

文档摘要

---

第一章集成电路工艺优化的背景与意义第二章先进制程中的关键材料与设备优化第三章工艺窗口分析与优化策略第四章异构集成与Chiplet技术的工艺实现第五章智能化工艺控制与数据驱动优化第六章绿色工艺与可持续发展的技术路径

01第一章集成电路工艺优化的背景与意义

摩尔定律的挑战与机遇摩尔定律自1965年由英特尔创始人戈登·摩尔提出以来，已成为半导体行业发展的金科玉律。该定律预测，集成电路上可容纳的晶体管数目约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。这一预测极大地推动了信息技术革命的进程，从最初的4位处理器到如今的多核CPU，摩尔定律的成真使得计算机性能呈指数级增长，成本不断下降，