直流与射频磁控溅射制备Al?O?薄膜的工艺探索与性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

氧化铝（Al_2O_3）薄膜凭借其独特且卓越的综合性能，在现代材料科学与工程领域占据着极为重要的地位。从物理性能来看，Al_2O_3薄膜具有高硬度的特性，其硬度可达20-30GPa，这使得它在需要耐磨的机械部件表面涂层应用中表现出色，如模具、发动机叶片等，能够有效提高部件的耐磨性能，延长使用寿命，减少经济损失。在耐高温方面，\alpha-Al_2O_3熔点高达2015℃，在高温环境下依然能保持稳定的结构和性能，可应用于航空航天领域的高温部件防护。在化学性能上，Al_2O_3薄膜具有良好的