双片集成波长可调谐垂直腔面发射激光器：原理、制备与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息时代的飞速发展，光电子技术作为现代信息技术的重要支撑，在通信、传感、医疗、工业制造等众多领域展现出巨大的应用潜力。垂直腔面发射激光器（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，VCSEL）作为光电子领域的关键器件之一，以其独特的结构和优异的性能，在过去几十年中受到了广泛的关注和深入的研究。

VCSEL的出光方向垂直于衬底表面，与传统的边发射激光器相比，具有诸多显著优势。其圆形对称的光束特性，使得它在与光纤等光学元件耦合时，能够实现更高的耦合效率，降低了光信