多主元(AlCrWTaTiNb)CxNy复合薄膜的制备工艺与性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

材料是人类社会发展的物质基础，随着科技的不断进步，对材料性能的要求也日益提高。高熵合金（High-EntropyAlloys，HEAs）作为一种新型合金材料，自2004年由台湾学者叶均蔚教授首次提出以来，凭借其独特的设计理念和优异的性能表现，已成为材料科学领域的研究热点。高熵合金通常由五种或五种以上主元素组成，每种主元素的原子百分比在5at.%到35at.%之间，形成高熵固溶体。这种独特的成分设计使得高熵合金具有热力学上的高熵效应、结构上的晶格畸变效应、动力学上的缓慢扩