基本信息

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文档摘要

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旋片-罗茨复合泵的创新设计与性能优化研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代工业与科学研究领域，真空技术占据着举足轻重的地位，其发展水平已然成为衡量一个国家科技与工业实力的关键指标之一。从半导体芯片的精密制造，到航空航天领域的材料研发，再到新能源电池的生产，真空技术都发挥着不可或缺的作用。例如，在半导体芯片制造过程中，需要极高的真空环境来确保芯片的纯净度和性能，微小的杂质或气体分子都可能导致芯片的缺陷，影响其功能和可靠性。在航空航天领域，航天器在真空环境下运行，其材料和部件需要经过严格的真空测试，以确保在极端条件下的稳定性和安全性。

旋片-罗茨复合泵作为一种高效的真空获得设备，在