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文档摘要

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钛酸锶衬底氧化物异质结器件的性能、制备与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与电子器件领域，新型材料及异质结构的研究一直是推动技术进步的核心驱动力。钛酸锶（SrTiO?）作为一种具有独特物理性质的氧化物，在现代材料研究中占据着重要地位。其具有立方钙钛矿结构，晶格常数为0.3905nm，展现出高介电常数、低介电损耗以及良好的化学稳定性等特性，使其成为理想的氧化物薄膜生长衬底材料。基于钛酸锶衬底构建的氧化物异质结，由于界面处原子的有序排列和电子的强相互作用，能够产生许多体材料所不具备的新奇物理现象，如界面超导、铁磁性、二维电子气等，这些特性为开发高性能电子器件提供了广阔的空间