CMOS兼容微热板式气体传感器：从原理到应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代社会的快速发展，环境监测、工业控制、医疗诊断等领域对气体传感器的需求日益增长。在环境监测方面，城市地区大气污染水平持续加剧，需要能够实时、准确检测空气中有害气体浓度的传感器，以评估空气质量并采取相应的环保措施。在工业控制中，众多工业过程涉及易燃易爆、有毒有害气体的使用和排放，如化工、石油、煤炭等行业，气体传感器可用于安全监测，预防事故发生。在医疗诊断领域，呼出气体中的生物标志物检测有助于疾病的早期诊断和治疗效果评估，例如通过检测呼出气体中的一氧化碳、氨气等成分来辅助诊断肺部疾病、肾脏疾病等。

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