基于GMA的二自由度精密微定位平台及控制系统：设计、实现与性能验证

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

在现代科技飞速发展的时代，微加工技术作为支撑众多前沿领域发展的关键技术，正以前所未有的速度不断演进。从微电子器件制造到生物医学工程，从光学精密仪器到航空航天领域，微加工技术的身影无处不在，其重要性不言而喻。在这些领域中，对加工精度的要求已经达到了前所未有的高度，从早期的微米级逐渐迈向如今的亚微米级甚至纳米级。例如，在半导体芯片制造中，为了实现更高的集成度和更快的运算速度，芯片上的晶体管尺寸不断缩小，目前已经进入了7纳米甚至5纳米制程时代，这就要求在加工过程中对各