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文档摘要

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特种气体系统工程技术规范

特种气体系统工程涉及高纯度、高危险性气体的输送与控制，其技术规范需全面覆盖设计、材料选型、施工安装、测试验收及运行维护全生命周期，以确保系统安全性、可靠性及工艺适用性。以下从关键技术环节展开具体要求。

一、系统设计基本原则

系统设计需以气体特性为核心依据，充分分析介质的物理化学性质（如毒性、腐蚀性、可燃性、反应活性、露点要求等），结合工艺设备的流量、压力、纯度需求，制定针对性设计方案。对于毒性气体（如砷烷、磷烷），需设置独立的二次containment结构，确保泄漏气体可被有效收集并导入废气处理系统；腐蚀性气体（如三氟化氮、氯化氢）应避免与水接触，管道需设置