Ti-O及Ti-(Cu)-O薄膜的制备工艺与性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学领域，薄膜材料凭借其独特的物理和化学性质，在众多关键技术领域发挥着不可或缺的作用，成为推动科技进步和产业发展的重要力量。从微电子学中的集成电路制造，到光电子学中的光学器件应用，再到能源领域的太阳能电池和燃料电池技术，薄膜材料的身影无处不在。在集成电路中，通过精确控制薄膜的厚度和成分，可以实现电子器件的微型化和高性能化，极大地提升了芯片的运算速度和存储容量。在光学领域，利用薄膜的光学特性，如高透射、高反射等，可以制备出各种高性能的光学镀膜和光学器件，广泛应用于激光技术、成像系统和光通信等领