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文档摘要

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寄生式时栅角位移传感器：动态误差剖析与结构优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今工业自动化和智能制造迅猛发展的时代，传感器作为获取物理量信息的关键部件，其性能优劣直接影响着整个系统的精度、稳定性和可靠性。角位移传感器作为一类重要的传感器，广泛应用于机器人关节控制、精密机床加工、航空航天导航以及电子设备制造等诸多领域，承担着精确测量物体旋转角度的重任，为系统提供关键的位置反馈信息，从而确保设备的精确运行和产品的高质量生产。

寄生式时栅角位移传感器作为一种新型的角位移测量装置，凭借其独特的工作原理和结构设计，展现出诸多显著优势。它基于时间-空间转换的创新思想，将角位移的测量转化为对