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2025年高端半导体硅材料抛光技术进展与表面质量发展报告

一、2025年高端半导体硅材料抛光技术进展

1.抛光技术的演变

1.1传统抛光技术

1.1.1机械抛光

1.1.2化学抛光

1.2新型抛光技术

1.2.1磁控抛光技术

1.2.2等离子体抛光技术

2.抛光设备的发展

2.1传统抛光设备

2.2新型抛光设备

2.2.1磁控抛光设备

2.2.2等离子体抛光设备

3.抛光材料的研究

3.1传统抛光材料

3.2新型抛光材料

3.2.1纳米抛光材料

3.2.2生物抛光材料

4.抛光工艺的优化

4.1传统抛光工艺

4.2新型抛光工艺

4.2.1磁控抛光工艺