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硅烷法多晶硅制取工设备安全规程

文件名称：硅烷法多晶硅制取工设备安全规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

1.适用范围：本规程适用于采用硅烷法生产多晶硅的各类设备和相关工艺流程的安全管理。

2.目的：为确保硅烷法多晶硅制取过程中的设备安全，防止事故发生，保障人员生命财产安全，制定本规程。

3.基本安全原则：

（1）安全第一、预防为主；

（2）全员参与、责任明确；

（3）设备设施完好、操作规范；

（4）应急处理及时、有效。

二、安全准备

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