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文档摘要

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纳米吸气剂：革新MEMS真空封装的关键材料与技术

一、引言

1.1MEMS技术与真空封装概述

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术，作为一门多学科交叉的前沿技术，将微电子技术与机械工程巧妙融合，通过半导体制造等微纳加工手段，构建出特征尺度处于微纳米量级、具备机械结构的系统装置。其发展历程追溯到20世纪60年代，彼时MEMS概念初步被提出，尚处于理论探索阶段，研究者们开始构思将微型电子元件与机械系统集成于单个芯片的可能性，但受限于当时的技术条件，发展较为缓慢。到了80年代，微电子制造技术取得显著进步，为MEMS