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文档摘要

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结构光照明三维显微术：原理、不确定度分析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今的科学研究和工业生产中，对微观世界的深入探索和精确测量变得愈发关键。从生物医学领域对细胞结构与功能的研究，到材料科学中对材料微观特性的分析，再到半导体制造等工业领域对微纳结构的检测与质量控制，高分辨率、高精度的三维显微技术都发挥着不可或缺的作用。结构光照明三维显微术作为一种先进的显微成像技术，凭借其独特的原理和优势，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了研究微观世界的重要工具之一。

结构光照明三维显微术通过向被测物体投射特定模式的结构光，并利用物体表面对结构光的调制作用，结合相关算法从获取的图像中解算