探索SOIMEMS与CMOS单片集成技术：原理、挑战及应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在万物互联与智能硬件蓬勃发展的当下，各类设备对于微型化、高性能传感器及芯片的需求呈爆发式增长。微机电系统（MEMS）作为一种融合了微电子与机械制造技术的新型学科，能够实现信息的获取、处理和执行一体化，具有体积小、集成度高、质量轻、耗能低、可靠性高、成本低且可批量生产等诸多优点，在航空航天、汽车电子、医疗设备、消费电子等众多领域有着广泛应用。例如，在智能手机中，MEMS加速度计和陀螺仪可实现屏幕自动旋转、运动检测等功能，为用户带来便捷体验。

互补金属氧化物半导体（CMOS）技术则在集成电路领域