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文档摘要

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2025年半导体设备真空系统技术发展趋势与前景报告

一、半导体设备真空系统行业发展概述

1.1行业发展背景

我观察到，半导体产业作为现代信息社会的基石，其发展深度依赖精密制造设备，而真空系统正是这些设备的核心部件之一。从逻辑芯片到存储芯片，从功率半导体到MEMS器件，几乎所有先进制程工艺都离不开真空环境——光刻机中的真空腔体确保光刻精度，刻蚀设备的高真空环境避免杂质污染，薄膜沉积系统的超高真空条件保证薄膜均匀性。随着5G通信、人工智能、物联网等应用的爆发，全球半导体市场规模持续扩张，SEMI数据显示，2024年全球半导体设备销售额突破1000亿美元，其中真空系统相关设备占比约15%，