多通道声表波传感器相频和幅频检测仪器：设计、技术与多元应用

一、引言

1.1研究背景与意义

声表面波传感技术作为一门新兴的技术，在过去几十年中取得了显著的发展。声表面波（SurfaceAcousticWave，SAW）是一种沿着物体表面传播的弹性波，其传播速度比电磁波慢得多，波长也极短。这种独特的性质使得声表面波器件能够实现电子器件的超小型化和多功能化。自20世纪60年代末期以来，随着半导体平面工艺和激光技术的进步，声表面波技术得到了飞速发展，成为了声学和电子学相结合的重要边缘学科。

声表面波传感器是利用声表面波的特性来检测各种物理、化学和生物量的传感器。它具有体积小、重量轻、灵