论抛光工具表面构造与液流悬浮加工特性的内在关联及作用机制

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，随着产品性能和质量要求的不断提高，超精密加工技术愈发重要。其中，液流悬浮加工作为一种能够实现纳米级表面精度的加工方法，在光学元件、半导体器件、模具制造等众多领域得到了广泛应用。它通过高速旋转的抛光工具和工件之间形成的楔形间隙，利用液流携带的磨粒对工件表面进行微量去除，从而达到超光滑的表面质量。这种加工方法不仅能有效提高工件的表面质量，还能显著提升其性能和使用寿命，在光学镜片制造中，超光滑的表面可以减少光线散射，提高成像质量；在半导体芯片制造中，高精度的表面加工有助于提升芯片的性能和稳定性