以3MLiqui-Cel膜接触器（脱气及供气）为例简述半导体级超纯水中溶解气体的控制及应用

一、超纯水及溶解气体应用介绍

超纯水是微电子行业的工艺用水，半导体工厂会大量使用超纯水，主要用于各个制程前后的湿法清洗。超纯水中的任何污染物都会对产品良率造成影响，例如金属离子、有机物、细菌微生物、颗粒物、硅和溶解气体等，不同的制程对于超纯水的规范要求如表1所示。

表1：微电子行业超纯水指标

对于超纯水中的溶解气体，溶解氧会导致二氧化硅薄膜生长，互联线路腐蚀等问题，溶解二氧化碳会导致阴离子超标，设备运行不稳，水质电阻不达标等问题，溶解气泡会导致晶圆表面润湿或图形缺陷等问题。因此超纯水溶解气体控制至关重