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文档摘要

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等离子体环境下C60氮离子注入的特性与机制研究

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，广泛存在于宇宙和实验室环境中。它由大量带电粒子组成，具有独特的物理和化学性质，在材料表面改性、半导体制造、环境治理等众多领域展现出巨大的应用潜力。在材料表面改性领域，等离子体环境能够提供高能量的粒子束，促使材料表面发生物理和化学变化，从而改善材料的性能，如提高材料的硬度、耐磨性和耐腐蚀性等。在半导体制造中，等离子体刻蚀和离子注入等工艺已成为制备高性能芯片的关键技术，能够精确控制材料的微观结构和电学性能。在环境治理方面，等离子体技术可用于降解有机污染物、净化废气和废水，为解决环境污染问题