基本信息
文件名称：《碳化硅单晶片残余应力定量测试 光弹法》.docx
文件大小：135.4 KB
总页数：6 页
更新时间：2025-12-12
总字数：约3.62千字
文档摘要
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ICS29.045CCSH83XXXX-XX-XX实施XXXX-XX-XX发布碳化硅单晶片残余应力定量测试光弹法TheQuantitativeMethodforTestingResidualStressofSiliconCarbideSingleCrystalWafers—PhotoelasticMethod（讨论稿）
ICS29.045
CCSH83
XXXX-XX-XX实施
XXXX-XX-XX发布
碳化硅单晶片残余应力定量测试
光弹法
TheQuantit