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摘要

近年来，在产业升级和技术创新的推动下，超短脉冲激光加工技术正逐步向高

精度领域发展。其中，皮秒级别的紫外激光器凭借其独特的性能优势，如极高的峰

值功率、极窄的脉冲持续时间以及非接触式加工方式，在多个关键领域展现出重要

价值，包括高精度加工、医疗激光和光伏产业等。然而，皮秒紫外激光器中的关键

光学元件半导体激光器和倍频晶体，均表现出显著的温度敏感性，温度漂移会直接

影响这些元件的物理特性，进而影响激光的输出功率和质量。此外，尽管目前商用

激光器在温度稳定性和精度方面表现优异，但其成本高且体积大