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多通道阵列滤光片作为多光谱、高光谱成像系统的核心分光元件，被广泛应

用于工业检测、医疗检测、农业探测等领域。因此，制备微型化、集成化以及光

谱要求高的多通道阵列滤光片是提升多光谱成像系统性能的重要途径。本文采用

光刻工艺和镀膜工艺相结合的制备方法，制备了一款单个通道尺寸为55μm的五

通道阵列滤光片和一款单个通道尺寸分别为20μm和10μm的六通道阵列滤光片，

光谱覆盖范围为可见光到近红外波段。具体研究内容如下：

(1)通过薄膜材料的选择，选择性能优良的TiO和SiO