基本信息
文件名称：《金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备》.pdf
文件大小：893.82 KB
总页数：11 页
更新时间：2025-12-12
总字数：约1.54万字
文档摘要
ICS71.040.10
CCSN69
团体标准
T/CAQIXXXX—XXXX
金刚石制备微波等离子体化学气相沉积
设备
Diamondpreparation—Microwaveplasmachemicalvapordepositi