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文档摘要

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飞秒激光赋能透明材料：三维微纳制备与集成的前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，微纳加工技术作为支撑众多前沿领域进步的关键力量，正发挥着日益重要的作用。随着对器件小型化、集成化以及功能多样化需求的不断攀升，传统加工手段在面对高精度、复杂微纳结构制造时逐渐显露短板。飞秒激光与透明材料的相互作用，作为一种极具潜力的微纳加工方式，应运而生，为解决这些难题提供了全新的思路和方法，在微纳加工领域占据了举足轻重的地位。

飞秒激光具有超短脉冲宽度（达到飞秒量级，1fs=10^{-15}s）和高峰值功率的独特优势。其超短脉冲特性使得激光与物质相互作用的时间极短，电子来不及