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仿蝎子栉器的超灵敏、宽范围柔性压力传感元件研究

柔性压力传感器在人机交互、智能机器人、医疗可穿戴设备等领域有着巨大

的潜在应用价值。目前，随着工作环境日益复杂与多样化，超灵敏和宽检测范围

对柔性压力传感器至关重要。然而，由于传感器变形空间有限、高压下微结构快

速硬化等局限，实现宽检测范围内的超灵敏一直具有挑战性。传统方法常采用单

一微结构来提升灵敏度，但在高压范围内灵敏度较低。进一步地，研究人员通过