基本信息
文件名称：半导体厂务自动化革新.pptx
文件大小：26.45 MB
总页数：10 页
更新时间：2025-12-13
总字数：约3.74千字
文档摘要
半导体厂务自动化革新智能系统赋能高效生产汇报人:
目录半导体厂务系统概述01自动化技术应用02关键设备管理03能源效率优化04安全与可靠性05未来发展趋势06
01半导体厂务系统概述
系统定义半导体厂务系统自动化的核心概念半导体厂务系统自动化是通过智能控制与物联网技术，实现晶圆厂内设备、环境、能源等关键环节的无人化操作，显著提升生产效率和良品率的技术体系。系统架构与模块组成该系统采用分层架构设计，包含设备控制层、数据采集层、分析决策层及可视化界面，各模块协同实现从物理设备到云端管理的全链路自动化。关键技术支撑依托工业物联网(IIoT)、机器学习算法和实时数据库技术，系统能动态优化生产参数，预