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文件名称:《GB_T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》专题研究报告.pptx
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总页数:42 页
更新时间:2025-12-13
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文档摘要

;目录;;;;;;;(二)核心差异:从“适用”到“精准”的全方位提升;;;物理本质:PN结空间电荷区的电容调控机制;(二)数学模型:从电容曲线到浓度计算的核心公式解析;;;样品基本要求:外延层参数与基底特性的明确规范;;(三)样品表征:测试前的质量筛查与兼容性判断;;;(二)关键性能指标:决定测试精度的核心参数解读;(三)校准规范:定期校准与期间核查的实操方法;;样品安装:精准定位与接触优化的操作要点;;;;基础计算:从原始数据到浓度值的转换步骤;;(三)结果表示: