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文档摘要

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光学MEMS技术赋能微型加速度传感器的创新与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术已成为当今世界最具发展潜力的技术之一。MEMS技术融合了微电子学、微机械学、材料科学、传感器技术等多学科知识，实现了微型化、智能化和多功能化的系统集成。光学MEMS技术作为MEMS技术的一个重要分支，将光学器件与微机电系统相结合，在光通信、生物医学、航空航天、消费电子等领域展现出了巨大的应用潜力。

在众多光学MEMS器件中，微型加速度传感器因其能够精确测量微小的加速度变化，在惯性导航、振动监测、运动控制等领域发挥着至关重要的作用。惯性导航系统依赖微型加