基本信息

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文档摘要

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探索光学表面离子束加工：材料去除与表面演变的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，光学表面的加工精度和质量对光学系统的性能起着决定性作用。从高端的天文观测设备，到日常生活中的手机摄像头，光学系统的应用无处不在，而其性能的优劣很大程度上取决于光学表面的质量。随着科技的飞速发展，对光学表面的精度、粗糙度以及表面完整性等方面的要求日益严苛。例如，在极紫外光刻技术中，光学元件表面粗糙度需达到亚纳米级，以确保光刻的精度和分辨率，满足芯片制造不断缩小特征尺寸的需求；在高功率激光系统中，光学表面的微小缺陷可能导致激光能量的散射和损耗，甚至引发元件的损坏，因此对表面的平整度和光洁度要求