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文档摘要

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基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究

一、研究背景

在现代工业制造、精密仪器、生物医学等众多领域，对物体表面三维微观轮廓的精确测量有着日益增长的需求。例如，在半导体芯片制造中，芯片表面的微观结构参数直接影响其性能和可靠性，需要高精度的测量来保证生产质量；在生物医学领域，细胞表面的三维轮廓特征对于研究细胞的生理状态和病变机制具有重要意义。

传统的测量方法如接触式测量，虽然在一定程度上能够实现测量，但存在容易损伤被测表面、测量效率低等缺点，难以满足高精度、高效率的测量要求。而非接触式测量方法中的白光相移干涉法，凭借其高精度、高分辨率、非接触等优势，逐渐成为表面三维微观轮廓测量的重要技术