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文档摘要

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ICS31.030

CCS65

Q

中华人民共和国国家标准

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GBT466112025

电光调制器用铌酸锂单晶薄膜

Lithiumniobatesinle-crstalthinfilmforelectro-oticmodulator

gyp

2025-10-31发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT466112025

目次

前言…………………………Ⅴ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4要求………………………3

4.1外观质量……………3

4.2薄膜层表面晶向允差………………5

4.3键合偏转角度允差…………………5

4.4键合强度……………5

4.5光学均匀性…………………………5

4.6线性电光系数………………………5

4.7单畴化程度…………………………5

4.8衬底电阻率…………………………5

5检测方法…………………6

5.1检测环境……………6

5.2总厚度………………6

5.3总厚度变化…………………………6

5.4局部厚度变化和局部厚度变化率…………………6

5.5边缘区宽度…………………………6

5.6表面外观质量………………………6

点平均厚度允差和点厚度变化……………

5.717176

5.8弯曲度………………6

5.9正表面粗糙度………………………6

5.10薄膜层表面晶向允差……………