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10.27工程师培训测试测试卷及答案

您的姓名：[填空题]*

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一、单项选择题

1.SiC外延炉的核心价值在于其生长的外延层质量直接决定了芯片的（）[单选题]*

A.生产成本与效率

B.外观尺寸与颜色

C.性能（如击穿电压）与良率(正确答案)

D.包装与运输方式

2.以下哪一项不属于SiC外延炉的主要子系统?（）[单选题]*

A.反应腔室

B.光刻系统(正确答案)

C.气体输送系统

D.真空系统

3.维护不佳可能导致“颗粒污染”，这主要是指会导致（）[单选题]*

A.器件缺陷、良率下贱(