六氟-1,3-丁二烯（全氟丁二烯）是新型电子蚀刻气体全球市场需求快速增长

六氟-1,3-丁二烯，别名全氟丁二烯、六氟丁二烯，英文缩写HFBD，分子式C4F6，分子量162.033，外观为无色气体状，无味，通常加压液化存储，有毒性，密度1.4g/cm3，熔点-132℃，沸点6℃，闪点-17℃，不溶于水，高度易燃，存储需远离火种、热源并防静电。

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六氟-1,3-丁二烯是一种电子特气。早期六氟-1,3-丁二烯主要用作聚合物单体，用来制备氟塑料、氟橡胶，但产品性能弱。现阶段，六氟-1,3-丁二烯应用研究主要集中在电子蚀刻气体方面，产品纯度在99.99%（4N）及以上。

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根据新思界产业研