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行业标准《集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术

规范》（征求意见稿）编制说明

主编单位：中国电子系统工程第四建设有限公司

2025年10月

电子行业标准集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术规范》（以

下简称《规范》）在工业和信息化部的指导下，在中国电子技术标准化研

究院电子工程标准定额站的组织管理下，编制组按照《规范》编制大纲内

容和时间要求，已顺利地完成了《规范》征求意见稿编制工作任务。《规

范》征求意见稿编制工作情况说明如下：

一、工