基本信息
文件名称：《SJT集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范》.pdf
文件大小：957.15 KB
总页数：71 页
更新时间：2025-12-18
总字数：约4.03万字
文档摘要
中华人民共和国电子行业标准
SJ/XXXX-202X
集成电路工厂化学品污染防控工程
技术规范
Technicalspecificationforchemicalpollutionpreventionandcontrolengineeringof
electronicindustrial